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功能性連續碳化硅自由薄膜可量產


來源:中國化工報

標簽碳化硅
廈門大學材料學院日前突破了具有光電特性的連續碳化硅(SiC)自由薄膜關鍵技術,制備出多種組分PCS先驅體,掌握了連續SiC自由薄膜不熔化交聯預處理與高溫裂解燒結的工藝。目前,該技術已申報6項國家發明專利,并形成了連續SiC自由薄膜材料小批量生產能力。

  據介紹,該項目的主要創新點為:將熔融紡膜與先驅體轉化法相結合,制備出新型功能性連續SiC自由薄膜(厚度8~100微米、寬度20毫米、連續長度>100米);從原料的合成階段引入異質元素改性,制備出了耐超高溫、低電阻率及高頻發光特性的連續SiC(Al)自由薄膜,以及適合太陽能電池窗口材料的P型光伏薄膜。

  新型連續SiC自由薄膜是理想的新型寬帶隙半導體材料,在微機電系統(MEMS)、光電集成器件、藍光發光器件、光伏器件、高溫紫外光敏器件及高溫壓力傳感器等高技術領域應用前景廣闊。
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