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石英砂過關,半導體坩堝才靠譜!


來源:中國粉體網   初末

[導讀]  半導體石英坩堝發展趨勢及對石英砂核心要求。

中國粉體網訊  石英坩堝具有潔凈、同質、耐高溫等性能,目前廣泛應用于半導體和太陽能領域拉制單晶硅的生產工藝中,其中,高純石英砂是石英坩堝的核心原材料。


在單晶硅生產中,石英坩堝作為多晶硅熔融料的承載容器,需與硅料及硅熔融液直接接觸。尤其在1420℃的高溫生產環境下,其純度、強度、熱學性能、氣泡含量及表面狀態等關鍵指標,對半導體硅片的品質、生產良率與性能一致性具有顯著影響。


具體而言,石英坩堝的純度、微量元素控制精度、氣泡層分布均勻性、熱學性能表現,以及內表面與硅液的化學反應程度,均會深刻作用于單晶硅晶體的微觀結構、電學性能,同時直接關系到產品良率、質量穩定性與性能一致性。高品質半導體石英坩堝需實現各項技術參數的精準平衡,因此,對這些參數的有效控制,是先進石英坩堝廠商的核心技術競爭力。


作為核心原材料,高純石英砂需滿足多維度嚴格要求,涵蓋雜質含量、羥基含量、氣液包裹體及粒度特性等方面,具體影響如下:


雜質含量:石英砂中的堿金屬雜質如Li、Na、K等會影響石英坩堝的耐溫性,降低其熔點,導致高溫性能變差;雜質含量高會導致石英坩堝產生氣泡和色斑等缺陷,降低石英坩堝的透明度,嚴重時還會影響石英坩堝的成型過程;雜質含量高的石英坩堝高溫強度低,易變形,直接對單晶拉制構成影響,比如坩堝上口內塌造成與導流筒碰撞而阻斷正常拉晶。


羥基含量:石英砂中的羥基含量會影響石英坩堝的耐高溫性能,羥基缺陷會破壞Si-O鍵,導致結構疏松度增加,化學穩定性降低。坩堝中的羥基(-OH)會改變SiO2的鍵合結構,改變石英坩堝的結構,降低黏度減弱石英坩堝強度及耐熱性能,是影響坩堝強度的核心因素。


氣液包裹體:石英砂中的氣液包裹體在高溫熔制石英玻璃的過程中,H2O能與SiO2熔體發生反應,使得羥基含量增高,造成氣泡增加。這些雜質會以微顆粒以及微氣泡的形式伴隨著硅液流遍整個硅熔體,直接影響到硅的成晶(整棒率、成晶率、加熱時間、直接加工成本)以及單晶硅的質量(穿孔片、黑芯片等)。


粒度特性:粒形一致的石英砂有助于制造出均勻性和一致性更好的石英坩堝,這對于保證單晶硅生長過程中的溫度和速度控制至關重要,直接影響到單晶硅的質量和產量。


相較于太陽能領域用石英坩堝,半導體石英坩堝在生產過程中,對原料石英砂的雜質含量要求更為嚴苛;同時,其不同內層位置對石墨電極的灰分標準,以及生產所用化學藥液、涂層材料、純水的等級要求,均高于太陽能石英坩堝。


2025年11月20-21日,中國粉體網將在江蘇徐州舉辦“2025(第九屆)全國石英大會暨展覽會”。屆時,錦州佑鑫石英科技有限公司研發中心主任馬力將帶來題為《半導體石英坩堝發展趨勢及對石英砂核心要求》的報告,深入解讀行業關鍵技術與發展方向。




參考來源:

錦州佑鑫.石英坩堝用高純石英砂的要求及發展趨勢

中國粉體網.這樣的石英坩堝還不選,你糊涂啊


(中國粉體網編輯整理/初末)

注:圖片非商業用途,存在侵權告知刪除!

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作者:初末

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