中國粉體網訊  近日，連云港市生態環境局對江蘇矽旺電子材料有限公司年產2000噸電子級超高純石英晶體材料制造項目環境影響報告表項目作出批復。

項目總投資120000萬元，新建原料處理系統、砣料沉積系統、砣料加工系統、檢驗系統、包裝系統和倉儲系統，建成后可達年產電子級超高純石英晶體材料2000噸生產能力。項目產品分為合成石英晶體材料（600t/a）和天然石英晶體材料（1400t/a）兩部分，均屬于高純石英晶體材料。

來源：美麗連云

CVD晶體

項目CVD晶體生產線采用高純合成石英晶體材料主流工藝CVD法，是將原料SiCl4通過四氯化硅供應裝置氣化，以氣態形式送入氫氧火焰噴燈，在氫氧焰中水解，生成SiO2微粒粉塵，然后經噴燈噴出，沉積于靶棒端部，經過多次沉積形成要求尺度的多孔粉塵預制棒，然后去掉靶棒，將多孔粉塵預制棒在高溫下脫水、燒結成透明的實心玻璃錠，即為所需的石英晶體材料。

VAD晶體

項目VAD晶體生產線主要生產用原料為高純石英砂，將高純石英砂通過加料裝置加入VAD石英打砣機中，經過氫氧焰高溫作用下熔融流入熔爐爐腔，進行沉積堆溶作業，在沉積生長流動過程中，在不同的沉積高度上形成不同直徑的同心圓熔融玻璃態圓柱體石英玻璃錠；高度每堆積生長到20mm~50mm時，開始自整形，石英火頭和熔融玻璃態圓柱體石英玻璃錠一起以徑向移動方式向熔爐爐腔內壁運動，使熔融玻璃態圓柱體石英玻璃錠最大直徑處與爐腔內壁產生摩擦，產生形變，使產品外型尺寸在高度范圍內達到上下等徑要求，從而得到產品。

據了解，江蘇矽旺電子材料有限公司位于連云經濟開發區板橋工業園，主要從事電子專用材料、光學玻璃、電子元器件等研發及生產、銷售。

高純石英晶體是半導體、光伏、電子信息和高端電光源等生產必不可少的關鍵基礎材料，也是芯片發展（晶圓制造與芯片封裝等）不可或缺的關鍵材料之一，在電子信息、新材料和新能源等戰略性新興產業以及國防軍工、國家安全中具有非常重要的作用和地位。

江蘇矽旺電子CVD車間負責人介紹：“超高純石英比起一般產品，在各個屬性方面都有所提升，具有高純度、高透光性、穩定性等一些特點，這些性能使得超高純石英在一些光學應用、裝備領域中占據了重要地位。”

矽旺電子公司董事長表示，石英晶體材料是光刻機等高精尖領域的核心材料，長期以來被國外企業壟斷。矽旺電子的投產，將打破這一技術封鎖，實現國產替代，為國家重點項目提供自主可控的關鍵材料。

參考來源：連云港市生態環境局、連云港日報、美麗連云

（中國粉體網編輯整理/初末）

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