隨著科學技術的飛速發展，半導體材料的革新速度也進一步加快。當前，碳化硅作為第三代半導體材料的典型代表，在新能源汽車、光伏、儲能等新興領域正快速滲透，已成為全球半導體產業的前沿和制高點。同時，我國“十四五”規劃已將碳化硅半導體納入重點支持領域，碳化硅半導體將在我國5G基站建設、特高壓、城際高速鐵路和城市軌道交通、新能源汽車充電樁、大數據中心等新基建領域發揮重要作用。

近年來，我國在SiC材料領域取得了顯著進展，但與國際先進水平相比，在晶體生長技術、晶圓加工技術等方面仍存在一定差距。SiC晶體生長過程中面臨著晶體缺陷控制、生長速率提升、晶體質量穩定性等難題；晶圓加工方面，則存在加工精度不足、良品率低、加工成本較高等挑戰。在當前倡導節能減排的大趨勢下，快速穩定地突破碳化硅單晶尺寸和質量等關鍵問題，才能夠更好地占據未來碳化硅市場。

在此背景下，中國粉體網將于2025年8月21日在江蘇·蘇州舉辦第三代半導體SiC晶體生長及晶圓加工技術研討會，大會將匯聚國內行業專家、學者、技術人員、企業界代表圍繞晶體生長工藝、關鍵原材料、生長設備及應用、碳化硅晶片切、磨、拋技術等方面展開演講交流。沈陽恒進真空科技有限公司作為參展單位邀請您共同出席。

沈陽恒進真空科技有限公司是專業從事真空設備研發及制造的科技型股份制企業。多年來恒進真空研制了溫度從100℃到 2200℃、裝料方式從臥式水平裝取到大型立式底部裝取的各種爐型，形成了雄厚的技術積累。被評為99年國家重點新產品，同時申請并獲得了多項技術專利。

自成立以來，恒進真空生產制造的高真空燒結爐、高壓氣淬爐、高真空釬焊爐、高真空退火爐、真空回火設備、真空氮化設備、真空晶化設備、真空快淬設備、真空儲藏柜、真空操作箱、真空干燥器等各類真空設備已 達1000 多臺，產品遍及國內20多個省，廣泛應用在材料、IT產業、冶金、機械等領域。目前恒進真空已在山西、浙江地區設立了客戶服務中心，至今已擁有 300多名客戶，其中不乏一些知名企業，如：北京鋼鐵研究總院、北京大學、中科院高能物理研究所、中科院沈陽金屬研究所、中科院長春光機所、中科三環、寧 波韻升、安泰科技、太原剛玉，并且已有部分產品出口到韓國、泰國、越南。

恒進真空一貫堅持“值得信賴”為企業的文化理念和發展基石，力爭把恒進辦成讓客戶信賴、讓員工信賴、讓股東信賴、造福社會的企業常青樹。

客戶對恒進的信賴來源于企業的優良產品與服務，是客戶對恒進長期誠信經營的回報；

員工與企業之間相互信賴，企業為員工提供發揮聰明才智的空間，讓員工對企業未來與自己未來充滿信心，進而提升員工的忠誠度；

股東對恒進的信賴是恒進獲得長足發展的基礎。

恒進真空堅信“值得信賴”并“富有社會責任感”是企業贏得社會各界支持和可持續發展的保障。

恒進真誠地希望：廣大客戶對恒進做更深層次的了解，熱情盛邀貴方光臨我公司訪問指導。恒進真空愿將企業的科技進步成果和企業文化與廣大客戶共享。

產品介紹

1、真空熱壓爐

性能特點

1.節能性高 ：保溫材料采用低導熱系數優質保溫棉，節能效果明顯。

高效換熱器，在大風量換氣條件下箱內仍有較好的溫度均勻度和波動度。 工作過程中工作室內揮發氣體始終處于低濃度，使絕緣漆中溶劑蒸發速度加快，縮短了干燥時間，節能效果明顯。

2. 安全系數高 ：精選國內外名牌電器元件，控制系統安全可靠，溫控系統靈敏。 設超溫報警保護系統，箱內溫度異常時切斷加熱電源并發出聲光報警。 低表面負荷、低表面溫度的加熱器，消除了引發燃燒或爆炸的最主要危險源。 超壓保護系統，當風壓異常時（即排氣不正常時），會發出聲光報警并切斷電源，確保安全。 全程大風量換氣方式，使箱內危險氣體濃度始終處于安全范圍以內。箱體設有大面積防爆門，在發生意外時可使損失降低到最低限度。

3.溫度均勻性好：良好的溫度均勻性全循環換氣方式和獨特的大風量熱風循環系統，使設備在整個加熱過程中具有相當好的溫度均勻性。

4.控制系統先進：選配計算機集散控制系統、實現一鍵式操作，自動記錄，隨時調取隨時查詢，方便對產品質量經行控制監督，有紙或無紙溫度記錄儀、絕緣電阻測試儀等。

工作原理

熱風烘干箱以蒸汽和電或煤炭為熱媒，利用高效加熱設備加熱，大量熱風在箱內進行了熱風循環，經過不斷新風補充從進風口進入箱體，然后不斷從排濕口排出，這樣增加了傳熱效果，使箱內物料水份逐漸減少，達到烘干效果。

2、高溫石墨化爐

用于碳碳復合材料、石墨軟氈、石墨硬氈的高溫石墨化處理或其他產品的高溫燒結處理。高溫純化爐是將石墨制品、石墨軟氈、石墨硬氈或SiC粉體等通過高溫焙燒和工藝氣體定向流動，經過物理擴散、化學反應使雜質元素從基體中排出，形成灰分含量低（5ppmw）、金屬含量降到PPB數量級，從而達到半導體晶體生長對石墨品質（或粉體原料）要求的工藝過程。

采用恒進專屬超高溫、大電流引電技術，能在2400℃條件下長時間穩定使用。

3、單室真空燒結爐

單室真空燒結爐的設備用途、特點：

該設備用于各種合金材料、器件、釹鐵硼磁性材料、釤鈷磁性材料、儲氫合金、活性與難熔金屬的真空燒結、時效等處理。該設備是在消化吸收國外設備優點的基礎上，歷經多次改進和完善，采用獨特的內（外）部氣流循環方式和較大的真空機組，具有冷卻均勻、速度快、爐溫均勻性好、大抽氣量、溫度均勻可控、高真空度和無滲漏等特點。冷卻方式分為內循環(RVSX)和外循環(RVS)兩種方式。

控制系統由PLC控制動作，智能溫控儀控制溫度，控制準確，自動化程度高，可實現全自動/手動無擾動切換及異常報警功能，操作簡單可靠。

主要技術指標：

會務組

聯系人：段經理

電話：13810445572

郵箱：duanwanwan@cnpowder.com

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