中國粉體網訊 石英材料是半導體制造各工藝環節中的關鍵耗材。用于半導體的石英材料及制品具有高純度、無污染、耐高溫等優良特性,其應用貫穿半導體產業鏈的各個環節,其純度、性能直接影響芯片制程精度與良品率。
總體來看,石英制品可用于擴散、氧化、沉積、光刻、蝕刻、清洗環節等關鍵過程。
具體來看,單晶生長需要用到石英坩堝和石英器件。晶圓加工環節,刻蝕、擴散、氧化、退火等步驟中需要用到大量的輔材石英制品,如石英片、石英環、石英舟等高純度石英制品。石英玻璃貫穿半導體制造的關鍵環節。
石英材料和制品行業位于半導體產業鏈的中上游環節,半導體制程中,擴散、氧化、沉積、蝕刻工藝用到石英法蘭、石英擴散管、石英鐘罩等石英制品,石英錠、石英管等是上述石英制品的基材;合成石英玻璃主要用于半導體高端制程中石英玻璃材料配套領域和光掩膜基板業務。
長飛石英技術(武漢)有限公司,成立于2022年12月,是長飛光纖光纜股份有限公司的子公司,專注于高端石英材料產品研發、生產、檢測、銷售與服務。長飛石英公司自主掌握多種化學氣相沉積、國際主流的合成石英制備工藝及半導體用電熔等天然石英熔制工藝,在產品的物理化學性能、光學性能、幾何精度與產品一致性等方面,高純度、無氣泡、高光學均勻性等特性均具備優異的表現水平,可充分滿足光學、光通信和半導體行業對高端石英材料在性能與質量方面的嚴苛需求。
2025年11月20-21日,由中國粉體網主辦的“2025第九屆全國石英大會暨展覽會”將在江蘇徐州召開,長飛石英技術(武漢)有限公司的銷售副總監肖暢將做《石英材料在半導體制造各工藝環節的應用與趨勢》的報告,屆時,他將基于多年深耕半導體石英材料市場的經驗,深度解讀石英材料在半導體制造各工藝環節的應用與趨勢。
肖暢先生多年從事合成石英與天然石英在半導體與光學市場的市場推廣與銷售工作;2004年進入光通信行業,先后從事國內外光通信網絡的市場與銷售工作;2019年加入長飛集團,重點從事各類石英材料在各個應用領域的市場開發與銷售工作;當前重點深耕石英材料在半導體光學、掩模基板、半導體石英部件、激光、精密光學、航空航天等多個市場;熟悉各類應用對于石英材料的不同技術需求與市場趨勢。
參考來源:
長飛石英.各類中高端石英材料在半導體制程各工藝環節的應用與提升
中國粉體網.小耗材,大作用!半導體工業離不開這些石英制品
(中國粉體網編輯整理/九思)
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