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中國粉體網訊 半導體芯片制程中所用的光刻機是最重要、最復雜、最昂貴的集成電路制造裝備，也被稱為半導體制造的“母機”，其技術難度之大、單價之高在全球均屬罕見，又被譽為“超精密尖端裝備的珠穆朗瑪峰”，挑戰著人類超精密制造的精度和[更多]
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