中國粉體網(wǎng)訊 半導(dǎo)體芯片制程中所用的光刻機(jī)是最重要、最復(fù)雜、最昂貴的集成電路制造裝備,也被稱為半導(dǎo)體制造的“母機(jī)”,其技術(shù)難度之大、單價(jià)之高在全球均屬罕見,又被譽(yù)為“超精密尖端裝備的珠穆朗瑪峰”,挑戰(zhàn)著人類超精密制造的精度和[更多]
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