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近日，中國科學技術大學理化科學實驗中心新安裝了國儀量子自主研制的超高分辨場發射掃描電子顯微鏡SEM5000X。目前，該設備已完成前期調試，即將投入試運行。

中國科學技術大學理化科學實驗中心內的兩款國儀量子掃描電鏡

中國科學技術大學理化科學實驗中心

中國科學技術大學理化科學實驗中心是中國科學技術大學公共技術創新平臺實驗中心之一，從1979年開始籌建。中心以“集中投入、統一管理、開放公用、資源共享”為建設原則，以建立條件優良、功能配套、管理規范、先進高效的優質資源和共享機制為建設目標，為培養創新人才和開展高水平科學研究工作提供技術支撐，為社會經濟建設提供技術保障。作為學校最早建成的大型儀器開放平臺，中心不僅承擔著相關院系、國家研究中心、國家重點實驗室，省部級實驗室以及國家、省部級等各類科研項目的技術支持分析測試任務，同時，也對相關學科提供教學、科研實驗條件與環境。

超高分辨場發射掃描電子顯微鏡SEM5000X

SEM5000X是一款超高分辨率場發射掃描電子顯微鏡，其分辨率達到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。高分辨物鏡設計、高壓隧道技術（SuperTunnel）以及鏡筒工藝升級，實現了低電壓分辨率的進一步提升。全新設計的樣品倉，擴展接口增加至16個，快速換樣倉最大支持8寸晶圓（最大直徑208 mm），極大擴展應用范圍。高級掃描模式和自動功能增強，帶來了更強的性能和更好的體驗。

產品優勢

• 超高分辨率成像，達到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV

• 樣品臺減速和高壓隧道技術組合的雙減速技術，挑戰極限樣品拍攝場景

• 高精度機械優中心樣品臺、超穩定性的機架減震設計，可搭配整體罩殼設計，極大減弱環境對極限分辨率的影響

• 最大支持8寸晶圓(最大直徑208 mm)的快速換樣倉，滿足半導體和科研應用需求

應用案例

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