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產品簡介
應用領域
GKS系列擴散爐主要應用于半導體材料的擴散、氧化工藝，同時也用于石英制品的退火、稀有金屬粉末和發光材料的煅燒等工藝。
設備型號： | GKS(D)-09/90/3 | GKS(D)-18/110/3 | GKS(S)-09/90/3 | GKS(S)-18/110/3 |
**溫度： | 1050℃ | 1050℃ | 1050℃ | 1050℃ |
使用溫度： | RT～1000℃ | RT～1000℃ | RT～1000℃ | RT～1000℃ |
控制精度： | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ |
溫區個數： | 3個 | 3個 | 6個 | 6個 |
爐管材質： | 高純石英 | 高純石英 | 高純石英 | 高純石英 |
發熱元件： | Kanthal電阻絲 | Kanthal電阻絲 | Kanthal電阻絲 | Kanthal電阻絲 |
加熱區長度： | 900mm | 1100mm | 900mm | 1100mm |
爐管尺寸： | Ф90×1800 | Ф180×2100 | Ф90×1800 | Ф180×2100 |
加熱功率： | 7.5Kw | 15Kw | 15Kw | 30Kw |
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