
北京中科科儀股份有限公司

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8月8日-10日,第十七屆國際真空科學與工程應用學術會議(VSEA-17)在沈陽東北大學召開。本次學術會議由東北大學、中國真空學會、真空技術與物理全國重點實驗室聯合主辦,展示國內外相關領域的最新科研成果和前沿技術。中科科儀作為大會支持單位,攜多項真空技術領域創新成果亮相現場,圍繞“真空科學與技術、真空與表面工程、真空與航天工程、真空半導體裝備與技術”等議題,與業界同仁共話行業發展與應用前景。
本次會議是集前沿學術交流、熱點技術專題研討和創新產品展示于一體的國際大型專業學術交流活動,真空及相關行業專家、學者、科研骨干、企業代表齊聚一堂,共謀更為廣闊的發展未來。活動現場,中科科儀實物展出DFF-63/80型單磁儀器分子泵、CXF-200/1401CVS型磁懸浮分子泵、ZQJ-3300型氦質譜檢漏儀以及CCQ-40K型超高真空常閉插板閥、GID-40ZM型自動壓力調節蝶閥,吸引眾多與會領導、專家、行業同仁駐足參觀、交流洽談。其中單磁儀器分子泵備受關注,此產品采用永磁懸浮軸承技術、微油潤滑機械軸承技術和高速轉子弱剛性支承技術,轉速可達90000rpm,綜合性能指標達國際先進水平,可實現同類產品的國產化替代。
活動期間,中科科儀真空技術研發中心時劍文博士進行主題為《磁懸浮分子泵關鍵技術演進及其在半導體制造裝備中的應用》的技術報告,針對分子泵概念及工作原理、磁懸浮分子泵關鍵技術以及在半導體制造裝備中的應用現狀進行了詳細介紹。近年來,中科科儀持續聚焦半導體產業自主可控需求,助力解決集成電路制造領域“卡脖子”問題,面向半導體和工業兩個應用方向,推出標準系列、高溫系列、分體系列等多款磁懸浮分子泵產品,廣泛應用于刻蝕、離子注入、薄膜沉積等半導體前道工藝環節。
未來,中科科儀將繼續深耕高端科學儀器裝備及真空技術領域,強化關鍵核心技術攻關,發展新質生產力,推進科技成果轉化和規模產業化,為半導體、航空航天、分析儀器、新能源、新材料等前沿科學研究和高端裝備制造領域提供更加優質的國產真空解決方案,攜手行業伙伴共同開拓真空行業發展新篇章。
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