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北京中科科儀股份有限公司
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SBC-16 是一款結構緊湊的桌上型鍍膜系統，特別適用于掃描電鏡成像中非導電樣品高質量鍍膜。
主要特性
通過高效低壓直流磁控頭進行冷態精細的噴鍍過程，避免樣品表面受損。
操作容易快捷， 控制的參數包括放氣以及氬氣換氣控制。
數字化的噴鍍電流控制不受樣品室內氣壓影響，可得到一致的鍍膜速率和**的鍍膜效果。
可使用多種金屬靶材：Au， Au/Pd,，Pt,，Pt/Pd（Au 靶為標配）， 靶材更換快速方便。
技術參數
濺射系統 | |
靶材 | Au 靶為標配，可選 Pt，直徑 57mm x 0.1mm 厚 |
標準樣品臺 | 可以裝載 12 個 SEM 樣品座，高度可調范圍為 60mm |
旋轉傾斜樣品臺（選配） | 旋轉速度： 0~60rpm 連續可調，傾斜角度： -90 °~ 90°連續可調； 不銹鋼腔體：直徑 120mm X 高 75mm； 觀察窗：直徑 120mm X 高 45mm； 標配旋轉臺直徑 40mm，可放 4 個標準樣品臺， 其它規格可訂做； 具有雙重鎖緊裝置， 可確保樣品在旋轉傾斜時不會松動脫落。 |
濺射電流 | 微處理器控制， 安全互鎖，可調，電流 5~30mA，程序化數字控制 |
計量表 | 真空： Atm - 1*10-3 mbar，電流： 0~99mA |
控制方法 | 帶有 “開始”“暫停”按鈕的微處理控制器（1－999s），自動抽氣、濺 射、關機后自動放氣。 |
真空系統 | |
抽氣速率 | 133L/MIN |
極限真空 | 10-4 mbar 級 |
噪音 | 56dB |
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