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鈣鈦礦材料因其優異的光電性能成為太陽能光伏領域的研究熱點，但易揮發有機組分（如甲基碘化銨MAI）的沉積難題長期制約其產業化進程。針對這一技術瓶頸，PEROvap真空鍍膜系統應運而生，通過創新設計為科研與生產提供穩定可控的沉積環境。

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突破傳統工藝限制

傳統真空沉積工藝在鈣鈦礦材料處理中面臨顯著挑戰：甲基碘化銨MAI等鈣鈦礦材料即使在常溫下也易二次揮發，導致薄膜均勻性差、器件性能參差不齊。PEROvap通過專利環境控制技術，在沉積過程中精確調控溫度與真空度，抑制材料的非預期再蒸發，確保薄膜成分與結構的穩定性和均勻性。

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核心技術優勢

• 擁有專利技術的超低溫蒸發源ULT

• 最多可配置8個蒸發源 (可實現共蒸)

• 適配M12硅片（210×210mm2）及定制化大尺寸基底

• 高穩定性 & 高重復性 & 高均勻性

• 可集成于手套箱（O?/H?O＜1ppm）

• 自動化兼容接口（機械臂/集群系統）

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推動產業化進程

憑借MBRAUN先進的工程設計經驗和在真空沉積技術領域的深厚積累，PEROvap為研究人員提供了精準可靠的鈣鈦礦材料沉積解決方案。憑借專利級環境控制技術，攻克鈣鈦礦材料易二次揮發、成膜不均等行業痛點。通過簡化操作流程、提升工藝容錯率，顯著降低鈣鈦礦器件開發門檻。無論是實驗室級樣品制備還是中試產線驗證，該系統均能提供可靠的數據支持和生產過渡方案。

以下為一些應用案例：