認(rèn)證信息
認(rèn) 證：工商信息已核實(shí)
訪問(wèn)量：316813
手機(jī)網(wǎng)站
掃一掃，手機(jī)訪問(wèn)更輕松
產(chǎn)品分類
公眾號(hào)
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
產(chǎn)品名稱：紅外氣體傳感器
產(chǎn)品型號(hào)：Gasboard-2061
紅外氣體傳感器產(chǎn)品概述
紅外氣體傳感器是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器，產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR),能夠精確測(cè)量半導(dǎo)體等應(yīng)用中產(chǎn)生的WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機(jī)臺(tái)內(nèi)常見(jiàn)預(yù)留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議，可用于半導(dǎo)體沉積和清洗工藝的端點(diǎn)檢測(cè)、腔室清理終端檢測(cè),能夠減少清潔時(shí)間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。
紅外氣體傳感器產(chǎn)品特性
使用NDIR技術(shù)，多氣體監(jiān)測(cè)支持(WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)
響應(yīng)時(shí)間快，高靈敏度
無(wú)耗材
模擬/數(shù)字通信
模塊化設(shè)計(jì)，便于集成
紅外氣體傳感器技術(shù)參數(shù)
| 檢測(cè)原理 | NDIR |
| 檢測(cè)氣體 | WF6、CF4、SF6、NF3、CO2 |
| 量程 | 1~264ppm(0~200mTorr) |
| 重復(fù)性 | ±0.5% |
| 線性 | ±1%F.S. |
| 檢測(cè)限 | 1ppm |
- 推薦產(chǎn)品
- 供應(yīng)產(chǎn)品
- 產(chǎn)品分類
- 四方儀器 CO2分析儀
- 四方儀器 CO分析儀
- 四方儀器 氧分析儀 半導(dǎo)體制造、空氣分離、惰性氣體焊接等
- 四方儀器 煙氣分析儀
- 四方儀器 甲酸分析儀 真空回流焊工藝甲酸氣體濃度
- 四方儀器 離心機(jī)氧含量分析儀
- 激光光譜發(fā)動(dòng)機(jī)排放分析系統(tǒng)
- 發(fā)動(dòng)機(jī)尾氣顆粒數(shù)量分析系統(tǒng)
- 四方儀器 激光氧氣分析儀
- 四方儀器 手持煙氣分析儀 Gasboard-3201Plus
- 四方儀器 微量氧分析儀 Gasboard-3052
- 銳意自控紅外氣體分析儀Gasboard-3500（常規(guī)型）
- 銳意自控紅外甲烷檢測(cè)報(bào)警儀JHB-100
- 汽車排放氣體分析儀（柴油車）Gasboard-5230
- 汽車排放氣體分析儀（汽油車）Gasboard-5260
- 銳意自控便攜發(fā)動(dòng)機(jī)排放測(cè)試儀