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硅微粉是一類用途廣泛的無機非金屬材料。
硅微粉是將高純度的石英礦通過物理或化學方法破碎、粉碎而得到的微米級別的粉末,其顆粒大小一般在1-100微米之間,常用的顆粒大小為5微米左右,而隨著半導體制程的進步,我司可達到2.5微米。
1.結晶性——SP220、SP315 2.干法型——SP10
3.濕法型——SP5 4.熔融型——RG115
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