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精密陶瓷:化解我國半導體“卡脖子”窘境的
中國粉體網訊 半導體產業是關乎國家經濟、政治和國防安全的戰略產業,在半導體產業中,制造裝備具有極其重要的戰略地位。以光刻機為代表的半導體關鍵裝備是現代技術高度集成的產物,其設計和制造過程均能體現出包括材料、機械加工等在內的諸多相關科學領域的最高水平。例如,對于材料而言,半導體制造關鍵裝備要求零部件材料具有輕質高強、高導熱系數和低熱膨脹系數等特點,且致密均勻無缺陷。 圖片來源:pexels其中,精密陶瓷就是最具代表性半導體精密部件材料。何為半導體精密部件?半導體零部件是指在材料、結構、工藝、品質和精度、可靠性及穩定性等性能方面達到了半導體設備及技術要求的零部件,如 O 型密封圈、傳送模塊、射頻電源、靜電吸盤、硅/..【詳細】
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