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20-30萬元型號
YHGS-120612I-3ZD品牌
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簡介
1200℃低真空CVD系統是由滑動式管式實驗電爐,混氣系統,真空及壓力系統等組成。此系統燒結溫度可達1200℃,通過滑動爐體來實現快速的升降溫;配置不同的真空系統來達到理想的真空度;同時通過三路高精度質量流量計控制不同氣體。是為石墨烯生長、研發的專用爐,也同樣適用于要求升降溫速度比較快的CVD實驗。
主要技術參數
爐體結構 | 整機采用SUS304不銹鋼材質,流線型外觀,斷熱式結構; 日本技術真空吸附成型的優質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛,保溫性能好; 爐子底部裝有一對滑軌,移動平穩; 爐子可以手動從一端滑向另一端,實現快速的加熱和冷卻; 支撐兩端安裝油壓緩沖器; 爐蓋可開啟,可以實時觀察加熱的物料 |
尺寸重量 | 1240*600*1340mm;170kg |
電源 | 電壓:AC220V 50/60Hz;功率:4KW |
爐管 | 高純石英管,高溫下化學穩定性強,耐腐蝕,熱膨脹系數極小; 尺寸:Φ60/80/100*1200mm |
法蘭及支撐 | SUS304不銹鋼快速法蘭,通過用高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空; 一個卡箍就能完成法蘭的連接,放、取物料方便快捷; 可調節的法蘭支撐,平衡爐管的受力支撐; 包含進氣、出氣、真空抽口針閥,KF密封圈及卡箍組合。 |
加熱系統 | 加熱元件采用優質合金絲,表面負荷高、經久耐用; 加熱區長度:300mm;恒溫區長度:150mm; 工作溫度:≤1150℃; **溫度:1200℃; 升溫速率:推薦≤10℃/min,*快升溫速度30℃/min |
溫控系統 | 日本富士儀表,64段控溫程序,可分步、分段; 測溫元件:N型熱電偶; 控溫精度:±1℃ |
混氣系統 | 三路質量流量計:數字顯示、氣體流量自動控制 內置不銹鋼混氣箱,每路氣體管路均配有逆止閥 管路采用不銹鋼管,接口為Φ6卡套 每路氣體進氣管路配有不銹鋼針閥 通過控制面板上的旋鈕來調節氣體流量 流量規格:0~1SLM 流量精度:±1.5% |
真空系統 | 采用雙極旋片真空泵,真空度可達10Pa |
可選配件 | 高真空系統,各種剛玉、石英坩堝,石英管,計算機控制軟件 |
保修期 | 整機一年保修(相關耗材除外) |
可根據客戶要求定制!
特色與優勢
1.滑動式爐體結構實現快速升降溫;
2.開啟式爐蓋設置,降低沉積溫度、加快沉積速度;
3.日本富士溫控儀表,64段控溫程序,可分布,分段,三路質量流量計,數字顯示精確控制氣體流量;
4.雙極旋片真空泵+分子泵,實現對真空度的不同要求,極限真空可達4.0*10-4Pa。
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設備名稱測試參數測試原理測試范圍適用范圍熔鹽粘度儀(MSLV)粘度旋轉法1.6~50cP熔點≤1000℃,硝酸鹽、氯化鹽、碳酸鹽、氟化鹽等熔體粘度儀(TDRO-1600)粘度旋轉法15~105cP熔點
2025-08-20
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1200低真空CVD系統的操作規程有嗎?
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