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1200℃滑動雙溫區(qū)/多溫區(qū)PECVD系統(tǒng)
1200℃滑動雙溫區(qū)/多溫區(qū)PECVD系統(tǒng)

參考價格

20-30萬元

型號

1200℃滑動雙溫區(qū)/多溫區(qū)PECVD系統(tǒng)

品牌

中環(huán)

產(chǎn)地

天津

樣本

暫無
天津中環(huán)電爐股份有限公司

金牌會員

|

第12年

|

生產(chǎn)商

工商已核實

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 產(chǎn)品用途:

產(chǎn)品專業(yè)性:

PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng),很容易發(fā)生反應(yīng),在基片上沉積出所期望的薄膜。

 

產(chǎn)品組成:

PECVD系統(tǒng)配置:

1.1200度開啟式雙溫區(qū)真空管式爐

2.等離子射頻電源

3.多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)

4.真空系統(tǒng)(可選配中真空或高真空)  

 

產(chǎn)品特點:

生長溫度低;沉積速率快;成膜質(zhì)量好,適用范圍廣,設(shè)備簡單。

 



創(chuàng)新點

生長溫度低;沉積速率快;成膜質(zhì)量好,適用范圍廣,設(shè)備簡單。

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