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1200℃滑動式單溫區(qū)/雙溫區(qū)/三溫區(qū)CVD系統(tǒng)
1200℃滑動式單溫區(qū)/雙溫區(qū)/三溫區(qū)CVD系統(tǒng)

參考價格

20-30萬元

型號

1200℃滑動式單溫區(qū)/雙溫區(qū)/三溫區(qū)CVD系統(tǒng)

品牌

中環(huán)

產(chǎn)地

天津

樣本

暫無
天津中環(huán)電爐股份有限公司

金牌會員

|

第12年

|

生產(chǎn)商

工商已核實

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核心參數(shù)
  • 非金屬電熱元件:

    其他
  • 金屬電熱元件:

    其他
  • 燒結(jié)氣氛:

    其他
  • 溫控精度:

    ±1℃
  • 最高溫度:

    1200
  • 額定溫度:

    1200
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產(chǎn)品用途:

此款CVD系統(tǒng)適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結(jié)構的可控

生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結(jié)真空淬火退火,快速降溫等工藝實驗。

 

產(chǎn)品組成:

CVD系統(tǒng)配置:

1.1200度開啟式真空管式爐(可選配多溫區(qū))。

2.滑動系統(tǒng)分為手動、電動滑動,并配有風冷系統(tǒng)。

3.多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)

4.真空系統(tǒng)(可選配中真空或高真空)    

 

產(chǎn)品特點:

控制電路選用模糊PID程控技術,該技術控溫精度高,熱慣性小,溫度不過沖,性能可靠,操作簡單。


中真空系統(tǒng)具有真空度上下限自動控制功能,高真空系統(tǒng)采用高壓強,耐沖擊分子泵,防止意外漏氣造成分子泵損壞,延長系統(tǒng)使用壽命。

(電動)滑動系統(tǒng)采用溫度控制器自動控制爐體移動,等程序完成,爐體按設定的速度滑動,因有滑動限位功能爐體不會發(fā)生碰撞,待樣品露出爐體后,通過風冷系統(tǒng)快速降溫。




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