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海德堡Heidelberg 高級大型2D，3D直寫光刻機DWL 8000
大面積瞄寫系統：DWL 8000
搭配海德堡的精密軟件控制可以讓您在大面積范圍中，也可以瞄寫2維和3維圖形的DWL 8000系列，是針對微光學領域的2維和3維的微構造形式所制作。
對于激光圖形生成器，MEMS，Displays 和sensors 都有加寬，加高的設計。DWL 8000精確的溫度控制，動態的焦點追蹤，closed loop位置決定，確保**布置和完全覆蓋性的直寫范圍。
DWL 8000多年的經驗累積，使Gray Scale曝光技術，可以更有效率于更小的系統上直寫更大的區域范圍。在使用高分辨率技術掩模板上，使用曝光強度經過調整的激光，可在連續表面上形成1個復雜的3維樣式。
主要功能：
。*小描繪尺寸：0.7um
。*小直寫尺寸：20nm
。5種描繪模式
。可轉換成自動描繪模式
。進階3維繪畫方式
。里測/校直用照相機系統
。選擇線上（Online）傳送繪畫數據
。自動基板加載系統
。多種多樣的繪畫數據輸入格式（DXF，CIF，GDSLL，Gerber，STL）
。Stage Map補正
。Edge detectof unit
應用范圍：
。Micro-optics
。MEMS
。Display
。Micro-sensor
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