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INFICON 公司生產(chǎn)的HPG 400 型高壓強熱電離皮拉尼真空計

將高壓強熱電離與皮拉尼規(guī)管綜合在一個小型、輕便與經(jīng)濟(jì)

的規(guī)管中，測量壓強從 2×10-6 至1000 毫巴(1.5×10-6 至

750 乇)。HPG 400 提供高度的重復(fù)性和再現(xiàn)性壓強測量，

用于精確的濺射過程的壓強控制。

用戶優(yōu)越性

􀂠 HPG 400 節(jié)省成本和設(shè)備空間，降低真空測量的安裝與

設(shè)置的復(fù)雜性

􀂠 高壓強熱電離真空計從 1×10-5 至1 毫巴為要求高的過程

控制提供精確、可靠的壓強測量

􀂠 用戶可選的熱電離發(fā)射在 5×10-2 至1 毫巴之間起始工作

􀂠 皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù)熱陰極防止它過早燒毀

􀂠 高真空皮拉尼自動調(diào)整，減少操作人員的干預(yù)

􀂠 備有可選的圖形顯示器和現(xiàn)場總線接口

典型應(yīng)用

􀂠 半導(dǎo)體制造中濺射工藝應(yīng)用，電子學(xué)的媒體工業(yè)

􀂠 工業(yè)鍍膜

􀂠 在低至超高真空范圍中系統(tǒng)的一般真空測量和控制