推薦碳化硅外延有多重要？

中國粉體網訊 首先，要搞清楚一個問題。為什么SiC要先制作襯底，再在襯底上外延SiC制成外延片？而不是直接切下來？簡單來講，碳化硅晶體在生長過程中會不可避免地產生缺陷、引入雜質，導致襯底材料的質量和性能都不夠好，而外延層的生[更多]