壓電超聲電機(USM)利用壓電材料的逆壓電效應,通過高頻結構振動共振模式實現驅動,具有無齒輪直驅、響應迅速、定位精度高、斷電自鎖、無電磁干擾以及易于微型化等顯著優勢,因此在高精度微機電系統、生物醫療設備、機器人手臂、顯微鏡平[更多]
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