
安徽澤攸科技有限公司
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澤攸科技ZEL304G電子束光刻機(EBL)采用場發射電子槍,配合一體化的高速圖形發生系統實現對半導體晶圓的高速、高分辨光刻。該系統標配高精度激光干涉樣品臺,允許用戶實現大行程高精度拼接和套刻需求,在新材料、前沿物理研究、半導體、微電子、光子、量子研究領域發揮重要作用。
產品特色
▲ 激光干涉樣品臺:先進的激光干涉樣品臺,滿足大行程高精度拼接和套刻需求
▲ 場發射電子槍:高分辨場發射電子槍是光刻質量的重要保證
▲ 圖形發生器:在保證超高速掃描的同時實現超高分辨率圖案繪制
樣品臺指標
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安徽澤攸科技有限公司企業類型
信用代碼
91340700MA2N3U8Q3E法人代表
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