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?在探索微觀世界的征程中，無論是觀察還是“雕刻”，我們始終面臨著一個根本性的物理限制——衍射極限。這個源于波的衍射天性的限制，如同一個無形的屏障，決定了我們能看清多小的物體，能加工多精細的結構。然而科學的魅力恰在于不斷挑戰并突破極限，本文將從物理直覺出發，深入淺出地探討衍射極限的本質，比較光學與電子束

?研究背景在“雙碳”目標與新一代信息技術自主可控的國家戰略驅動下，高功率、高頻率電子器件對超寬禁帶半導體材料提出迫切需求。金剛石憑借超高擊穿場強（5–10 MV/cm）、優異熱導率（~2000 W/m·K）和高載流子遷移率，被視為下一代高功率電子器件的理想候選材料，其發展已被納入多個國家重點研發計劃和

?在科學探索的征途上，人類對微觀世界的渴望從未停止。從列文虎克用自制顯微鏡首次窺見微生物，到今天我們能夠清晰地觀察原子排列，顯微技術的每一次飛躍都極大地拓寬了我們認知邊界。然而當探索的尺度進入納米級別時，傳統的光學顯微鏡便遇到了其物理極限——阿貝衍射極限。為了突破這道“光的屏障”，科學家將目光投向了比

?研究背景在人工智能、物聯網和大數據等技術飛速發展的時代背景下，全球對更高性能計算硬件的需求日益迫切，研發速度更快、尺寸更小、能耗更低的下一代信息存儲與處理技術已成為關鍵的國家級戰略需求。然而傳統的半導體存儲器件正逼近其物理極限，在提升存儲密度、降低能耗和加快讀寫速度方面遭遇了難以逾越的瓶頸。這催生了

?在微納工程領域，從一個基于CAD的數字設計到一個功能化的物理器件，其間的鴻溝由一系列精密的制造工藝來填補，其中光刻無疑是定義器件幾何形態的基石。對于那些深耕于電子顯微鏡及原位測量系統領域、擁有數十年技術積淀的企業而言，其能力邊界的拓展往往遵循著一條清晰的物理學脈絡——從“觀察”微觀世界，到“改造”微

?量子芯片是量子計算機的 “大腦”，其核心地位堪比傳統計算機的中央處理器（CPU）。但與傳統芯片依靠 “0”“1” 經典比特運算不同，量子芯片通過 “量子比特（Qubit）” 的量子力學特性實現計算 —— 這一特性的實現，離不開電子束光刻技術的精準支撐。本文將從量子比特的本質出發，解析其與電子束光刻的