
安徽澤攸科技有限公司

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產品介紹
澤攸科技JS系列臺階儀作為國產高精度表面測量設備的代表,憑借其創新的技術架構、靈活的應用場景及可靠的測量性能,可以對微納結構進行膜厚和臺階高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量,在高校、研究實驗室和研究所、半導體和化合物半導體、高亮度LED、太陽能、MEMS微機電、觸摸屏、汽車、醫療設備等行業領域有著廣泛應用。
JS系列臺階儀通過金剛石探針與樣品表面的接觸掃描,將微觀輪廓的垂直位移轉化為電信號,結合高靈敏度傳感器與信號處理算法,實現納米級精度的表面特征捕捉。其核心技術亮點在于超微壓力恒定控制系統,通過精密調節探針與樣品間的接觸壓力,既避免了對軟質材料的損傷,又確保了測量過程的穩定性。此外,設備搭載的攝像頭實時成像系統,可同步觀察樣品區域與探針尖端的位置關系,輔助用戶精確定位特征結構,顯著提升測量效率。
作為國產科學儀器的突破性成果,JS系列臺階儀打破了國外品牌在高端表面測量設備領域的長期壟斷,憑借高性價比與本地化服務優勢,成為國內高校、科研機構及制造企業的優選設備。
特點
量測精確、功能豐富、一體式集成、模塊化設計、售后便捷、極高性價比
應用范圍
▲ 刻蝕、沉積和薄膜等厚度測量
▲ 薄膜多晶硅等粗糙度、翹曲度等材料表面參數測量
▲ 各式薄膜等應力測量
▲ 3D掃描成像
▲ 計劃任務和多點掃描
▲ 批量測試晶圓,批量處理數據等
系統組成
▲ EFEM(LP+ROBOT+ALINGER)
▲ JS300B
選配品
▲ 高度校準標樣
▲ FFU模塊
▲ 靜電消除模塊
▲ E84接口
技術參數
軟件界面
掃描圖
18nm樣品
68um樣品
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企業名稱
安徽澤攸科技有限公司企業類型
信用代碼
91340700MA2N3U8Q3E法人代表
注冊地址
成立日期
注冊資本
有效期限
經營范圍
400-810-0069轉5600
虛擬號將在 秒后失效
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