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產品介紹

澤攸科技JS系列臺階儀作為國產高精度表面測量設備的代表，憑借其創新的技術架構、靈活的應用場景及可靠的測量性能，可以對微納結構進行膜厚和臺階高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量，在高校、研究實驗室和研究所、半導體和化合物半導體、高亮度LED、太陽能、MEMS微機電、觸摸屏、汽車、醫療設備等行業領域有著廣泛應用。

JS系列臺階儀通過金剛石探針與樣品表面的接觸掃描，將微觀輪廓的垂直位移轉化為電信號，結合高靈敏度傳感器與信號處理算法，實現納米級精度的表面特征捕捉。其核心技術亮點在于超微壓力恒定控制系統，通過精密調節探針與樣品間的接觸壓力，既避免了對軟質材料的損傷，又確保了測量過程的穩定性。此外，設備搭載的攝像頭實時成像系統，可同步觀察樣品區域與探針尖端的位置關系，輔助用戶精確定位特征結構，顯著提升測量效率。

作為國產科學儀器的突破性成果，JS系列臺階儀打破了國外品牌在高端表面測量設備領域的長期壟斷，憑借高性價比與本地化服務優勢，成為國內高校、科研機構及制造企業的優選設備。

特點

量測精確、功能豐富、一體式集成、模塊化設計、售后便捷、極高性價比

應用范圍

▲ 刻蝕、沉積和薄膜等厚度測量

▲ 薄膜多晶硅等粗糙度、翹曲度等材料表面參數測量

▲ 各式薄膜等應力測量

▲ 3D掃描成像

▲ 計劃任務和多點掃描

▲ 批量測試晶圓，批量處理數據等

系統組成

▲ EFEM（LP+ROBOT+ALINGER)

▲ JS300B

選配品

▲ 高度校準標樣

▲ FFU模塊

▲ 靜電消除模塊

▲ E84接口

技術參數

軟件界面

掃描圖

18nm樣品

68um樣品