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一、初步故障診斷

1. 觀察控制面板顯示狀態（錯誤代碼、壓力/真空度數值）

2. 檢查循環泵運行指示燈是否正常

3. 測試手動模式與自動模式切換功能

二、電源系統檢測

1. 使用萬用表測量輸入電壓（標準380V±5%）

2. 確認斷路器未跳閘（檢查熱過載保護器復位按鈕）

3. 測試UPS備用電源切換功能（需維持≥30分鐘供電）

三、控制系統排查

1. PLC模塊狀態檢查（RUN指示燈應常綠閃爍）

2. 觸摸屏操作響應測試（重點檢測閥門控制信號輸出）

3. 執行控制器硬重啟（斷電5分鐘后重新上電）

四、機械部件檢查

1. 循環泵軸承手動盤車測試（需能360°自由轉動）

2. 檢查聯軸器對中偏差（允許值＜0.05mm）

3. 清理葉輪積垢（使用無水乙醇擦拭不銹鋼表面）

五、氣體系統檢測

1. 確認進氣壓力≥0.6MPa（低于閾值觸發保護停機）

2. 測試氣動閥門響應（開閉行程時間應＜3秒）

3. 疏通再生管路（用0.5mm通針清理分子篩罐進出口）

六、傳感器校準

1. 壓力變送器零點校正（在常壓下調整至0kPa輸出）

2. 氧分析儀標定（使用標準含氧氮氣進行三點校準）

3. 流量計系數驗證（對比轉子流量計與質量流量計讀數）

七、應急處理措施

1. 啟用備用小型循環裝置維持箱體正壓

2. 連接外部高純氮氣持續吹掃（流量控制5L/min）

3. 轉移敏感物料至備用過渡艙保存

八、預防性維護建議

1. 每月清洗進氣過濾器（壓縮空氣反吹+超聲波清洗）

2. 每2000小時更換循環泵潤滑油（ISO VG32專用油脂）

3. 建立振動監測檔案（軸承部位振動值應＜4.5mm/s）

注意事項：
? 嚴禁在未查明故障原因時強行啟動設備
? 拆卸氣路部件前必須執行三重泄壓操作
? 控制系統固件升級需同步更新冗余備份模塊
? 建議配置振動在線監測系統和智能診斷單元

如經上述處理仍未恢復，應立即聯系設備制造商技術支持，并提供故障時的運行參數記錄（包括停機前30分鐘壓力曲線、溫度日志及報警歷史）。涉及高活性物料時，優先執行物料保護程序再開展維修作業。