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SEM納米探針臺產品實現了三維空間上的準確定位, 它具有分辨率高,尺寸緊湊,行程大,操作簡單,能在真空下使用等優點,可應于SEM真空腔體內完成各種納米精度運動操作。
SEM納米探針臺產品使用壓電陶瓷驅動,運無需潤滑,百分真空兼容,并可在很廣的溫度范圍內工作。運動分辨率達到納米級。步進和掃描雙模式工作,在宏觀行程范圍內達到亞納米分辨率的定位。
三軸探針臺由三個單軸運動臺組合而成。一SEM腔體內可安裝多個三軸探針臺。平上可安裝電學探針、光纖探針、納米鑷子、金剛石納米力壓頭、顯微注射器等各類操縱和測量頭,實現微納操縱和測量的目的。

? 主要參數
▲ 兼容性:適配多種鎢燈絲、場發射SEM,保證電鏡安全性
▲ 探針驅動方式:PZT壓電陶瓷
▲ XYZ行程:XY軸行程≥±10mm,Z軸行程≥10mm
▲ 細調行程:3um
▲ 細調*小步長:≤1nm
▲ 控制模式:開環/閉環
▲ 探針數量:*多支持8探針
▲ 制冷系統(選配功能):熱臺200℃;冷臺-60℃(TEC);冷臺-170℃(液氮)
主要配置
壓電探針臺、壓電三軸位移控制器、PC+軟件(閉環選配)、壓電冷臺(選配)、手提箱、源表(選配)、制冷系統(選配)、定制適配電鏡法蘭、工具附件等
結構緊湊,高剛性
壓電陶瓷位移平臺具有超長使用壽命
內部根據需求可增加位置反饋
應用:納米材料操縱、納米器件電學光電等物性測量、生物細胞DNA操作等
適配SEM:日本電子、 日立、FEI、 TESCAN等


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