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Sharpla600 系列缺陷檢測設備
Sharpla600 系列缺陷檢測設備

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型號

Sharpla600 系列缺陷檢測設備

品牌

盛吉盛

產地

浙江

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Sharpla 600 是專門為檢測 SiC (碳化硅) 缺陷而設計的一款國產自研檢測設備。針對 SiC 襯底和 SiC 外延片各種缺陷檢測。Sharpla 600 采用明場、暗場和光致發光相結合的先進光學技術,能夠快速、準確地檢測出各類缺陷。算法采用經典算法與人工智能算法相結合的方式,使其在數據處理和分析方面更加快速、精確。

結合 DIC、DF 以及 PL 三種光學模式進行檢測,實現全面檢測和測量,提高檢測效率和準確性。

檢測精度:0.3μm


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