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RTA-Brispark12吋快速熱處理設備品牌
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快速熱處理設備通過特殊的溫度控制算法和業(yè)界驗證的晶圓自轉(zhuǎn)系統(tǒng)實現(xiàn)晶圓面內(nèi)的精確溫度控制和顆粒控制；其升降溫快速、熱預算控制精確等特點，應用于離子注入后的晶格修復與雜質(zhì)激活，STI、Gate Oxide之后的修復與致密化，以及在接觸孔工藝中歐姆接觸的形成。
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