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低壓 硼擴散爐 氧化 退火爐品牌
賽瑞達產地
江蘇樣本
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優勢
◆快速的工藝認證，可以極高的提升生產
◆工藝過程中APC良好的控制工藝管壓力
◆使用Sic槳使加載區穩定
◆更大的正常運行時間和更低的成本，良好的技術支持和服務，確保設備長期穩定使用
硬件規格
◆恒溫區長度:2800mm
◆溫區數量:6個溫區
◆**溫度:1050℃
◆溫度均勻性:800℃~1050℃±0.5℃
◆晶圓裝載法:碳化硅懸臂槳
◆槳的**承重量:100kg
◆工藝腔和舟的材質:石英管&碳化硅舟托
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