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設備主要特點
◎ 采用先進的閉環控制系統，壓力穩定無波動
◎ 高精度溫控系統
◎ 工藝薄膜均勻性優異
★支持SECS/GEM通訊
主要技術指標
◎ 適用硅片尺寸:4~6"
◎ 工作溫度范圍:350℃~800℃
◎ 恒溫長度:300-1100mm(可定制)
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