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面議型號
LP-CVD多晶 摻雜多晶爐品牌
賽瑞達產地
江蘇樣本
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其他溫控精度：
-最高溫度：
800 ℃額定溫度：
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優勢
◆快速的工藝認證，可以極高的提升生產
◆專業的高效電池制造
◆良好的膜厚均勻性，較長的恒溫區
◆更大的正常運行時間和更低的成本，良好的服務和支持確保了長期**的生產能力
◆Ivoc:>740mV(鈍化后)
主要特點
◆產能:2200~2880pcs/管
◆管數:5管/6管
◆硅片尺寸:182-230mm硅片
◆壓力控制:APC控制
◆系統控制:PLC和PC控制基礎
◆通訊:Melsec，MES，I/O，SECS-II等
◆自動化集成:用于客戶優化和MES控制集成的全自動化解決方案
◆運行時間：97%
硬件規格
◆**溫度:800℃
◆溫度均勻性:500℃~700℃±0.5℃
◆晶圓裝載法:碳化硅懸臂槳
工藝規范
◆膜厚:1000A~3000A
◆厚度均勻性:<5%(片內/片間/批間均勻性)
◆未摻雜多晶硅(硅烷)
◆N型摻雜多晶硅PH3
◆P型摻雜多晶硅B2H6
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