推薦SiC單晶生長：三大方法優劣全解析

中國粉體網訊 目前，主流的碳化硅長晶技術主要包括物理氣相沉積法（PVT）、液相生長法（LPE）、高溫化學氣相沉積法（HTCVD）。物理氣相沉積法（PVT）PVT法生長SiC單晶涉及許多復雜的過程，其工作原理是通過感應線圈將坩[更多]