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Nano Energy:澤攸科技STM-TEM原位樣品桿在新一代半導體器件研發中的應用

Nano Energy:澤攸科技STM-TEM原位樣品桿在新一代半導體器件研發中的應用
澤攸科技  2025-04-02  |  閱讀:431

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本期帶來的是一篇PicoFemto原位樣品桿在新一代半導體器件研發中的應用場效應晶體管在半導體行業有著廣泛的應用。其中,由壓電材料(氧化鋅等)作為門控的場效應管在近年獲得了廣泛關注。本文利用STM-TEM原位樣品桿搭載單根氧化鋅納米線,并在TEM中原位操縱、測量和觀測。研究表明,當我們使用STM探針對氧化鋅納米線施加2.63%的應力后,該材料的電導率會驟降2個數量級。結合TEM的觀測結果我們發現,這種電導率的變化與接觸點處肖克力勢壘無關,而是源自氧化鋅納米線橫向壓電潛能帶來的載流子損耗。相關研究由日本NIMS、中科院物理所和量子物質合作創新中心共同完成,成果發表在《Nano Energy》上(Nano Energy (2015)13, 233-239)。

   澤攸科技的PicoFemto原位樣品桿在該研究中穩定而精確地實現了搭載樣品、電學測量以及施加應力的任務。

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   氧化鋅納米線一端被固定在金針上,另一端通過鎢針對其施加應力。

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    理論模型對實驗結果的支持

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   應用器件模型


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