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技術參數：我們提供多種口徑的圓形平面靶槍，尺寸1"， 2" and 3". 以及矩形靶槍
安裝法蘭口徑：NW63CF，NW100CF
真空腔體內長度范圍：150-400mm
真空腔體內端面直徑：60-96
靶材直徑： 1"， 2" and 3"
靶材**厚度：4-6mm
冷卻：水冷
特點：
100%超高真空（UHV）應用
獨有的放射性沉積模式
在線Z軸驅動及傾斜
水冷時不會存在水汽
平衡靶和非平衡靶設計
高強度磁體應用于磁性材料
應用領域：
PVD沉積
金屬涂層
納米結構薄膜
多層鍍層
反應濺射
射頻濺射，直流濺射，脈沖直流濺射
硬質涂層
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