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微波等離子化學氣相沉積（MPCVD）系統 —— C型品牌
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微波等離子化學氣相沉積（MPCVD）系統 —— C型 一款先進的微波等離子體化學氣相沉積裝置。微波輸入采用下饋的方式，為腔體結構的優化提供了可能性。 該裝置可以再相對大面積的襯底上進行金剛石單晶和多晶生長。 |
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