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自動晶圓減薄機
自動晶圓減薄機

參考價格

面議

型號

ZM9230

品牌

產地

浙江

樣本

暫無
寧波丞達精機股份有限公司

高級會員

|

第1年

|

生產商

工商已核實

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設備介紹

單軸單工位的結構設計

可適用大部分的晶圓加工要求,兼顧整面磨削和留邊磨削




產品詳情

主要參數


規格

單位

技術指標

工件直徑

mm

?150 / ?300

磨削方式


整面磨削 / 留邊磨削

金剛石砂輪(兼容DISCO砂輪)

mm

?300

砂輪軸數量


1

砂輪軸功率

kW

7.5

砂輪軸轉速

r/min

1000~4000

Z軸行程

mm

120

Z軸磨削進給速度

mm/s

0.0001~0.08

Z軸*小進給量

μm

0.1

硅片厚度測量范圍

μm

0~1800

厚度測量分辨率

μm

0.1

夾持方式


多孔真空吸盤

工件軸數量


1

工件軸轉速

r/min

10~300

磨削后TTV

μm

1.5

磨削后片間厚度偏差

μm

±3

精磨后表面粗糙度

Ra

10nm

外形尺寸(W × D × H)

mm

850×1760×1900

整機凈重

kg

2200


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產品質量

10分

售后服務

10分

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10分

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