磨拋盤直徑：
-主軸轉速：
-單位能耗：
-裝機功率（kw）：
-成品細度：
-工作原理：
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基本規格 | · 尺寸：3.8 米（長）x3.2 米（寬）x2.7米（高）· 重量：13 噸 |
設備構成 | · 拋光加工單元（8 軸，3Steps，粗拋 /中拋 / 精拋）· 拋光液供給單元· 搬送單元（Robot） |
**加工尺寸 | · φ 300mm |
加工方式 | · 干進，濕出 |
加工能力 | · 3 套拋光盤，同時高效加工 6 片（2x3） |
生產能力 | · ≥ 28 wafers /hr |
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