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晶圓表面及邊緣檢測設備-SEDI品牌
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| 產品型號 | |
| 應用場景 | |
| 檢測缺陷 | |
| 檢測精度 | |
| 產能 | 85 WPH@300mm |
| 產品特點 | 微粒檢測、缺陷分布、不良分類、ADC |
| 晶圓直徑 | Ф6″、Ф8″、Ф12″（尺寸可定制） |
| 產品型號 | |
| 應用場景 | |
| 檢測缺陷 | |
| 檢測精度 | |
| 產能 | 85 WPH@300mm |
| 產品特點 | 微粒檢測、缺陷分布、不良分類、ADC |
| 晶圓直徑 | Ф6″、Ф8″、Ф12″（尺寸可定制） |
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