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12 英寸硅單晶生長爐
12 英寸硅單晶生長爐

參考價格

面議

型號

12 英寸硅單晶生長爐

品牌

芯暉裝備

產地

浙江

樣本

暫無
浙江芯暉裝備技術有限公司

高級會員

|

第1年

|

生產商

工商已核實

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核心參數
  • 非金屬電熱元件:

    其他
  • 金屬電熱元件:

    其他
  • 燒結氣氛:

    其他
  • 溫控精度:

    ±2.0
  • 最高溫度:

    -
  • 額定溫度:

    -
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技術參數

項目

參數

單位

XINHUI

晶棒長度

· 2100 

mm

 2100

晶棒直徑

· 308 

mm

 ≥ 308

碳含量

· < 0.30 

ppma 

< 0.10

晶體

· COP ≥ 26nm (no pattern) 

>85



體金屬

· Bulk Metal Cu

atom/cm3

≤ 1E11

· Bulk Metal Ni

 atom/cm3 

≤ 1E10

· Bulk Metal Fe

 atom/cm3

Ave ≤ 2E9;Max ≤ 1E10

          

 提拉軸與坩堝軸對中偏差

· 多次開合操作后

mm 

≤ ± 1

· 承載在0-400kg 范圍內變化

mm 

≤ ± 1

液面位置跟蹤控制精度

-

mm 

±0.2

晶體直徑控制精度

-

mm 

±2.0

投料量(含二次加料)

-

KG 

> 400


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10分

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10分

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