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晶圓隱裂外觀檢測設備(ADS)品牌
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適用于成型、拋光工藝段，應用明場及紅外檢測原理進行無圖形晶圓的正反面及內部無法肉眼觀測的隱裂缺陷檢測，具備崩邊、劃傷、線痕、化學臟污、隱裂等微小缺陷的檢出能力
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