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橢圓偏光膜厚測量儀(手動)
橢圓偏光膜厚測量儀(手動)

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日本

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上海瞬渺光電技術有限公司

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產品特點:

? 400波長以上多通道分光的橢偏儀,高速測量橢圓偏光光譜。

? 自動變更反射測量角度,可得到更詳細的薄膜解析數據。

? 采用正弦桿自動驅動方式,展現測量角度變更時優異的移動精度。

? 搭載薄膜分析所需的全角度同時測量功能。

? 可測量晶圓與金屬表面的光學常數(n:折射率、k:消光系數)。

產品規格:

樣品對應尺寸100×100mm
測量方式偏光片元件回轉方式
入射/反射角度范圍45~90o
入射/反射角度驅動方式反射角度可自動變更
波長測量范圍300~800nm
分光元件Poly-chrometer
尺寸650(H)×400D×560Wmm
重量約50kg
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10分

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