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供電電源

AC380±10% 三相五線制 50Hz/60Hz

系統(tǒng)總功率

14KW

微波輸出功率

2－10KW

微波工作頻率

2.45GHz

反應(yīng)腔

不銹鋼諧振腔

整機真空氣密性

≤1.33×10^-10 Pa·m³/s (≤1×10^-9 Torr L/s）

沉積臺類型

水冷式沉積臺

有效沉積面積

**沉積面積Ф≥3英吋（76mm）

工作壓力范圍

1－32Kpa （10Torr－220Torr）

自動壓力控制精度

±15 Pa (≈0.12 Torr)

真空泵抽速

旋轉(zhuǎn)真空油泵（30m³/h）

標準氣路

五路MFC氣路（可選配）

微波泄漏功率密度

≤1mw/cm²

控制系統(tǒng)

PDS-MPCVD控制系統(tǒng)

觀察窗

ICF70 4個，ICF34 4個

運行工作環(huán)境

恒溫20℃-24℃
相對濕度20%~70%（無凝露、無腐蝕性氣體）

冷卻水流量

＜41 L/min流量可調(diào)
進水/回水壓差：≥0.42 M Pa

系統(tǒng)重量

500±5KG