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W-180A-10K 微波等離子化學氣相沉積系統
W-180A-10K 微波等離子化學氣相沉積系統

參考價格

面議

型號

W-180A-10K 微波等離子化學氣相沉積系統

品牌

鉑世光

產地

上海

樣本

暫無
鉑世光(上海)技術有限公司

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第2年

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系統參數:

型號

W-180系列


供電電源

AC380±10% 三相五線制 50Hz/60Hz


系統總功率

14KW


微波輸出功率

2-10KW


微波工作頻率

2.45GHz


反應腔

不銹鋼諧振腔


整機真空氣密性

≤1.33×10-10 Pa·m3/s (≤1×10-9 Torr L/s)


沉積臺類型

水冷式沉積臺


有效沉積面積

**沉積面積Ф≥3英吋(76mm)


工作壓力范圍

1-32Kpa (10Torr-220Torr)


自動壓力控制精度

±15 Pa (≈0.12 Torr)


真空泵抽速

旋轉真空油泵(30m3/h)


標準氣路

五路MFC氣路(可選配)


微波泄漏功率密度

≤1mw/cm2


控制系統

PDS-MPCVD控制系統


觀察窗

ICF70 4個,ICF34 4個


運行工作環境

恒溫20℃-24℃
相對濕度20%~70%(無凝露、無腐蝕性氣體)



冷卻水流量

<41 L/min流量可調
進水/回水壓差:≥0.42 M Pa



系統重量

500±5KG



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產品質量

10分

售后服務

10分

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10分
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