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快速高溫退火設(shè)備RTA RSA-06品牌
萬德思諾產(chǎn)地
天津樣本
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產(chǎn)品圖片：
產(chǎn)品型號(hào):
RSA-06
產(chǎn)品介紹：
Ceramic， Metal Free的熱場設(shè)計(jì)
可以實(shí)現(xiàn)± 10℃以下（1500℃） 的面內(nèi)溫度分布。
急加熱急冷卻的設(shè)計(jì)， 即使單片對(duì)應(yīng)整體速度也很快
反應(yīng)爐和冷卻室是分開存在， 加熱部可以保持均一高溫。 （**申請）
加熱部一直是高溫保持，綜合運(yùn)轉(zhuǎn)成本會(huì)降低
本裝置為高真空對(duì)應(yīng)（可以使用干泵+渦輪分子泵）
**可以對(duì)應(yīng)2000℃。
我們將通過充分利用仿真軟件來建議**的熱場
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