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晶圓邊緣檢測輪廓儀
晶圓邊緣檢測輪廓儀

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輪廓儀

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浙江

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快速、自動、精確測量多種晶圓的倒角形狀。
支持2-12英寸的晶圓測量


產品詳情:

● 設備簡介
采用獨特的光學系統及軟件算法,以非接觸的方式對半導體襯底晶片倒角后的edge 和 notch 進行形貌與尺寸測定。

● 設備優勢
· 設備可以對 2 英寸 wafer 到 12 英寸 wafer 進行自動測量。
· 測量是在晶圓操作臺上以非接觸的方式進行。
· 可測定部分:邊緣,槽口(notch)和 OF 邊的長度(OPTION)
· 搭載電腦控制系統,測量結果可保存在各種外部記憶媒體。
· 具備 LAN 連接功能,測量數據可以隨時在 network 范圍內查閱



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10分

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