參考價格
面議型號
等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)-PECVD品牌
助研儀器產(chǎn)地
安徽樣本
暫無看了等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)-PECVD的用戶又看了
留言詢價
電話詢價
虛擬號將在 180 秒后失效
使用微信掃碼撥號
等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)-PECVD
ZYE-1200-PE
為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進(jìn)行，利用了等離子體的活性來促進(jìn)反應(yīng)，因而這種CVD稱為等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法（PECVD）。它是由500W射頻電源、1200℃單溫區(qū)管式爐、三通道質(zhì)量流量混氣系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成。此款PECVD系統(tǒng)用于生長納米線、石墨烯或SiC薄膜等
| 型號 | ZYE-1200-PE |
| 工作溫度 | **溫度：1200℃（使用是必須通入惰性氣體以防爐管發(fā)生形變）工作溫度：1100℃推薦升溫速率：≤10℃/min |
| 控溫精度 | ±1℃ |
| 配置爐管尺寸 | Φ50（外）×1200mm（其他可定制） |
| 爐膛尺寸 | |
| 加熱區(qū) | 加熱長度：220mm 恒溫區(qū)長度：60-80mm（±3℃） |
| 控制方式 | PID控制和自整定調(diào)節(jié)功能，智能化30段可編程控制，具有超溫及段偶功能K型熱電偶，可安裝PC控制軟件對數(shù)據(jù)進(jìn)行實(shí)時采集（需另購） |
| 密封系統(tǒng) | 不銹鋼密封法蘭（包括316L針閥、真空機(jī)械壓力表、軟管接頭） |
| 加熱元件 | 北京首鋼HRE |
| **功率 | 3kW |
| 供氣系統(tǒng) | 三路高精度MFC 量程0-500sccm（按客戶需求定） |
| 射頻電源 | 射頻功率：5-500W 射頻頻率：13.56MHz 匹配方式：自動匹配 |
| 真空系統(tǒng) | 雙級旋片真空泵（可定制擴(kuò)散泵 分子泵等） |
| 額定電壓 | 單相AC220V 50/60Hz |
| 外形尺寸 | 1600*600*1200mm（長*寬*高） |
暫無數(shù)據(jù)！
在材料科學(xué)和化學(xué)分析領(lǐng)域，熱重分析裝置（Thermogravimetric Analysis，簡稱TGA）是一種重要的分析工具。它通過精確測量樣品在加熱或冷卻過程中的質(zhì)量變化，為研究人員提供了關(guān)于材料
氣氛箱式爐是一種在特定氣氛條件下對物料進(jìn)行熱處理的工業(yè)電爐，廣泛應(yīng)用于陶瓷、玻璃、金屬及新材料等領(lǐng)域。它通過精確控制爐內(nèi)的氣氛成分(如氮?dú)狻錃狻鍤獾?，以達(dá)到特定的加熱效果和材料性能要求。以下是關(guān)
原位微分電化學(xué)質(zhì)譜儀（Differential Electrochemical Mass Spectrometry，簡稱DEMS）是一種將電化學(xué)反應(yīng)池與質(zhì)譜儀結(jié)合使用的原位電化學(xué)測試方法。它在電位動態(tài)
等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)-PECVD的工作原理介紹？等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)-PECVD的使用方法？等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)-PECVD多少錢一臺？等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)-PECVD使用的注意事項(xiàng)等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)-PECVD的說明書有嗎？等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)-PECVD的操作規(guī)程有嗎？等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)-PECVD的報價含票含運(yùn)費(fèi)嗎？等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)-PECVD有現(xiàn)貨嗎？等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)-PECVD包安裝嗎？
手機(jī)版：
工商已核實(shí)
