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全自動晶圓環(huán)切取環(huán)設(shè)備品牌
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設(shè)備特點(diǎn)
晶圓尺寸: 兼容8寸、12寸frame晶圓
雙loadport上料,雙臂帶翻轉(zhuǎn)robot取料
雙全自動取環(huán)工位
高效精確解UV光源
環(huán)切精度<0.15mm
設(shè)備尺寸：2060mm*2050mm*2300mm（不含三色燈）
暫無數(shù)據(jù)！
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