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WG-6110自動減薄機
WG-6110自動減薄機

參考價格

面議

型號

WG-6110自動減薄機

品牌

中電科

產地

北京

樣本

暫無
北京中電科電子裝備有限公司

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技術特點
  ●同時支持深切緩進給(Creep- -Feed)和軸向進給(In- Feed)磨削原理;
  ●可選配全自動上下料系統,設備可由自動減薄設備變為全自動減薄設備;
  ●GPP行業應用優勢明顯;
  ●高加工效率,4英寸GPP用硅晶圓UPH可達360pcs/h;
  ●節省空間的設計,占地面積僅為1.01m,兼顧小型化及高性能比。.
性能指標

自動減薄機

WG-6110

**加工物尺寸

Φ156mm

主軸

主軸數量

1

輸出功率

7.5kW

轉速

1000-6000rpm

Z軸

行程

120mm

進給速度

0.00001 ~0.08mm/s

**返回速度

50mm/s

分辨率

0.1pm

承片臺數量

4 (可定制)

工作臺轉速

0-20rpm

減薄精度

片內厚度偏差

<5μm

片間厚度偏差

<±5μm

表面粗糙度Ra

<0.2μm (2000#Grinding wheel, Si)

測量儀

測量范圍

不適用

分辨率

重復精度

其他規格

夕卜形尺寸(WxDxH)

750mmx1350mmx1750mm

設備重量

≈2000 kg


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產品質量

10分

售后服務

10分

易用性

10分

性價比

10分
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