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技術特點
●同時支持深切緩進給(Creep- -Feed)和軸向進給(In- Feed)磨削原理;
●可選配全自動上下料系統，設備可由自動減薄設備變為全自動減薄設備;
●GPP行業應用優勢明顯;
●高加工效率，4英寸GPP用硅晶圓UPH可達360pcs/h;
●節省空間的設計，占地面積僅為1.01m,兼顧小型化及高性能比。.
性能指標
自動減薄機 | WG-6110 | |
**加工物尺寸 | Φ156mm | |
主軸 | 主軸數量 | 1 |
輸出功率 | 7.5kW | |
轉速 | 1000-6000rpm | |
Z軸 | 行程 | 120mm |
進給速度 | 0.00001 ~0.08mm/s | |
**返回速度 | 50mm/s | |
分辨率 | 0.1pm | |
承片臺數量 | 4 (可定制) | |
工作臺轉速 | 0-20rpm | |
減薄精度 | 片內厚度偏差 | <5μm |
片間厚度偏差 | <±5μm | |
表面粗糙度Ra | <0.2μm (2000#Grinding wheel, Si) | |
測量儀 | 測量范圍 | 不適用 |
分辨率 | ||
重復精度 | ||
其他規格 | 夕卜形尺寸(WxDxH) | 750mmx1350mmx1750mm |
設備重量 | ≈2000 kg | |
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