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1.可對應 100 毫米至 200 毫米的晶圓尺寸。
2.所有設備均內置搬運系統和對準機構，導入后可立即投入生產。
3.具備簡單易懂的操作系統，任何人都能快速上手操作。
4.具備配方管理、日志管理等強大的生產管理功能，可切實保障品質管理。
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