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MicroVacuum是源于匈牙利的品牌。
工作原理：
儀器的核心組件為具有功能表面的石英芯片，通過石英晶體的壓電效應來實時監控表面反應。
當物質在石英晶體表面發生吸脫附反應或者石英晶體表面的液體性質發生變化時，都會引起頻率的變化和振蕩損耗(耗散)的變化。芯片共振頻率的變化，與芯片表面吸附的物質的質量相關。而振蕩能量損耗的強度與吸附物質本身的粘彈性及結構相關。QCM-I系列均可以高精度實時的監控這些變化。
通過分析頻率變化與耗散變化，可以獲得吸附層相應的質量、吸附層厚度、粘彈性(剪切模量)等信息。
應用領域：
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